
رقاقات السيليكون لـ MEMS: رؤى حول المواد والتصنيع والتطبيقات
أحدثت الأنظمة الكهربائية الميكانيكية الدقيقة (MEMS) ثورة في التكنولوجيا الحديثة، مما أتاح أجهزة استشعار ومشغلات وأجهزة مصغرة تستخدم في صناعات السيارات والطب والإلكترونيات الاستهلاكية والفضاء. وفي صميمها

