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Schlagwort: Thin Film Deposition

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Kundenspezifische Siliziumwafer der Spitzenklasse: Warum die Oberflächenrauhigkeit für MEMS wichtig ist

Im Bereich der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS) hängt die Leistung von Bauteilen stark von der Materialqualität im Mikro- und Nanobereich ab. Unter allen Substratparametern ist die Oberfläche

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Silizium-Wafer für MEMS: Einblicke in Material, Herstellung und Anwendung

Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) haben die moderne Technologie revolutioniert und ermöglichen miniaturisierte Sensoren, Aktoren und Geräte, die in der Automobil-, Medizin-, Unterhaltungselektronik- und Luft- und Raumfahrtindustrie eingesetzt werden. Das Herzstück