Actualités
Une nouvelle méthode de nettoyage sans HF pour les plaquettes de carbure de silicium : Mécanisme et évaluation des performances
Avec le développement rapide de l'électronique de puissance, le carbure de silicium (SiC) s'est imposé comme un matériau prometteur pour les dispositifs de la prochaine génération en raison de sa large bande interdite, de sa haute résistance à la corrosion et de son faible coût d'utilisation.