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Wafer di silicio per i MEMS: Approfondimenti su materiali, produzione e applicazioni
I sistemi microelettromeccanici (MEMS) hanno rivoluzionato la tecnologia moderna, consentendo di miniaturizzare sensori, attuatori e dispositivi utilizzati nei settori automobilistico, medico, dell'elettronica di consumo e aerospaziale. Al centro
