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炭化ケイ素ウェハーの特性と主な切断考察

炭化ケイ素(SiC)ウェーハは、第3世代半導体技術の要となる材料として登場した。電気自動車、太陽光発電システム、パワーエレクトロニクスに広く使用されている、,