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Silicon Carbide SiC Dummy Wafer: A Scientific and Educational Overview
1. Introduction In semiconductor manufacturing, a dummy wafer (also known as a monitor wafer or blank wafer) is a non-device-bearing wafer used to support and
1. Introduction In semiconductor manufacturing, a dummy wafer (also known as a monitor wafer or blank wafer) is a non-device-bearing wafer used to support and
炭化ケイ素（SiC）は、その広いバンドギャップ、高い熱伝導性、高い絶縁破壊電界により、高性能パワー半導体デバイスの重要な材料として浮上してきた、,
炭化ケイ素（SiC）、特に4H-SiCポリタイプは、その優れた電気的、熱的、機械的特性により、高出力および高周波半導体デバイスにおいて基礎的な役割を果たしている。
炭化ケイ素（SiC）エピタキシーは、今日の高電圧、高周波、高効率半導体デバイスを支える最も重要なプロセスのひとつである。この薄い結晶層は
