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高純度SiC結晶成長:精密製造基準

炭化ケイ素は、現代のパワーエレクトロニクスや高温アプリケーションにおいて、最も重要なワイドバンドギャップ半導体材料の一つとして浮上している。従来の半導体材料と比較して