ニュース SiCエピタキシーの進歩:無欠陥に近い炭化ケイ素パワーデバイスを目指して 炭化ケイ素(SiC)パワーデバイスは、世界のパワーエレクトロニクス市場で急速にシェアを拡大している。従来のシリコンの物理的性能限界を超えることで