{"id":8762,"date":"2026-03-20T16:01:07","date_gmt":"2026-03-20T08:01:07","guid":{"rendered":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/?p=8762"},"modified":"2026-03-20T16:05:52","modified_gmt":"2026-03-20T08:05:52","slug":"a-novel-hf-free-cleaning-method-for-silicon-carbide-wafers-mechanism-and-performance-evaluation","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/a-novel-hf-free-cleaning-method-for-silicon-carbide-wafers-mechanism-and-performance-evaluation\/","title":{"rendered":"\u041d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0431\u0435\u0441\u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f: \u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c \u0438 \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438"},"content":{"rendered":"
<\/div>\n

\u0421 \u0431\u044b\u0441\u0442\u0440\u044b\u043c \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u0435\u043c \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0438, \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC)<\/strong> \u0441\u0442\u0430\u043b \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u043c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u043c \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0435\u0433\u043e \u043f\u043e\u043a\u043e\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u043c \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c. \u041f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u043c, SiC \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0432\u0430\u0442\u044c \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0443\u0441\u0442\u043e\u0439\u0447\u0438\u0432\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043a \u043f\u0435\u0440\u0435\u043f\u0430\u0434\u0430\u043c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f, \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u043c\u0438 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u044f\u043c\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0431\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n

\u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u041f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 SiC<\/a> \u043e\u0441\u0442\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u043e\u0439. \u0428\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RCA, \u0438\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u043d\u0435 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u043c\u0443\u044e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0438\u043c \u043a SiC \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0444\u0443\u043d\u0434\u0430\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u0438\u0439 \u0432 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u0435 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0435\u0439.<\/p>\n\n\n\n

\u0412 \u0434\u0430\u043d\u043d\u043e\u043c \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0441\u0441\u043c\u0430\u0442\u0440\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u0432\u044f\u0437\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u043e\u0439 SiC \u0441 \u043f\u043e\u043c\u043e\u0449\u044c\u044e RCA, \u0438 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f HF \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0438\u0441\u0438 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430.<\/p>\n\n\n\n

\u041e\u0433\u0440\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RCA \u0434\u043b\u044f SiC<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

\u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RCA \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u043f\u043b\u0430\u0432\u0438\u043a\u043e\u0432\u0430\u044f \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0442\u0430 (HF) \u0434\u043b\u044f \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u043e\u0432 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 \u0441 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0435\u0439. \u041e\u0434\u043d\u0430\u043a\u043e \u043f\u0440\u0438 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a SiC:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • \u0410\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u0440\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0444\u043e\u0442\u043e\u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u043e\u0439 \u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u0438 (XPS) \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0444\u0442\u043e\u0440 \u0432\u0441\u0442\u0443\u043f\u0430\u0435\u0442 \u0432 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u044e \u0441 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0432 SiC, \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044f \u043d\u0435\u0436\u0435\u043b\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u0441\u0432\u044f\u0437\u0438.<\/li>\n\n\n\n
  • \u0412\u044b\u0447\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u043c\u043e\u0434\u0435\u043b\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0430\u043a\u0436\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u0432\u0437\u0430\u0438\u043c\u043e\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0441\u0443\u0436\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0443 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f SiC, \u043f\u043e\u0442\u0435\u043d\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0443\u0445\u0443\u0434\u0448\u0430\u044f \u0435\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    \u041f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0441\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 \u0412\u0427 \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0434\u0438\u0442\u044c \u0432\u043d\u0443\u0442\u0440\u0435\u043d\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 SiC, \u0447\u0442\u043e \u0434\u0435\u043b\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u0443\u044e \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0443 RCA \u043d\u0435\u043f\u0440\u0438\u0433\u043e\u0434\u043d\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445.<\/p>\n\n\n\n

    \"\"<\/figure>\n\n\n\n

    \u0420\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

    \u0414\u043b\u044f \u0443\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0442\u0438\u0445 \u043d\u0435\u0434\u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0431\u044b\u043b \u0440\u0430\u0437\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430\u043d \u043d\u043e\u0432\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043a \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0435, \u043e\u0431\u043b\u0430\u0434\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u0441\u043b\u0435\u0434\u0443\u044e\u0449\u0438\u043c\u0438 \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a\u0430\u043c\u0438:<\/p>\n\n\n\n

      \n
    • \u0411\u0435\u0441\u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441, \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0449\u0438\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0444\u0442\u043e\u0440\u043e\u043c<\/li>\n\n\n\n
    • \u0418\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u0432 \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0434\u0438)<\/li>\n\n\n\n
    • \u0410\u043a\u0442\u0438\u0432\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0438\u0441\u0438 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 (H\u2082O\u2082) \u0441 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n
    • \u0421\u043e\u043a\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0434\u043e \u0442\u0440\u0435\u0445 \u0443\u043f\u0440\u043e\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

      \u0412 \u043e\u0442\u043b\u0438\u0447\u0438\u0435 \u043e\u0442 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u043e\u0432, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u044e\u0442 \u043e\u0431\u043e\u0439\u0442\u0438\u0441\u044c \u0431\u0435\u0437 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432, \u044d\u0442\u043e\u0442 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u043d\u0430\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u043d\u043e \u0432\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u044b\u0435 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u044b \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u043a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u043e\u0432, \u0447\u0442\u043e \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0430\u0435\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439.<\/p>\n\n\n\n

      \"\"<\/figure>\n\n\n\n

      \u042d\u043a\u0441\u043f\u0435\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0438<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

      \u0414\u043b\u044f \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043b\u0438\u0441\u044c \u0440\u0430\u0437\u043b\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u044b \u043e\u043f\u0440\u0435\u0434\u0435\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u0445\u0430\u0440\u0430\u043a\u0442\u0435\u0440\u0438\u0441\u0442\u0438\u043a:<\/p>\n\n\n\n

        \n
      • \u0410\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e-\u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u0430\u044f \u043c\u0438\u043a\u0440\u043e\u0441\u043a\u043e\u043f\u0438\u044f (\u0410\u0421\u041c):<\/strong> \u041c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/li>\n\n\n\n
      • \u0418\u0437\u043c\u0435\u0440\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0433\u043b\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u0430 \u0441 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0439:<\/strong> \u0421\u043c\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043e\u0446\u0435\u043d\u043a\u0430 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n
      • \u0421\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c\u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 Candela:<\/strong> \u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 3-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445<\/li>\n\n\n\n
      • \u0420\u0435\u043d\u0442\u0433\u0435\u043d\u043e\u0432\u0441\u043a\u0430\u044f \u0444\u043b\u0443\u043e\u0440\u0435\u0441\u0446\u0435\u043d\u0446\u0438\u044f \u0441 \u043f\u043e\u043b\u043d\u044b\u043c \u043e\u0442\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c (TXRF):<\/strong> \u0410\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u043c\u0438 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

        \u0420\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u0438 \u043e\u0431\u0441\u0443\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

        \u041c\u043e\u0440\u0444\u043e\u043b\u043e\u0433\u0438\u044f \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

        \u041d\u0430 \u0410\u0421\u041c-\u0438\u0437\u043e\u0431\u0440\u0430\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f\u0445 \u0432\u0438\u0434\u043d\u043e, \u0447\u0442\u043e:<\/p>\n\n\n\n

          \n
        • \u041f\u0435\u0440\u0435\u0434 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c SiC \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0442 \u043c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0447\u0438\u0441\u043b\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438 (\u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0433\u043e\u043b ~70\u00b0, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043e \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u0444\u043e\u0431\u043d\u043e\u043c \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438).<\/li>\n\n\n\n
        • \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 RCA \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0441\u0442\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b.<\/li>\n\n\n\n
        • \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0432\u0438\u0434\u0438\u043c\u044b\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u043d\u0435 \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f, \u0430 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u044b\u0439 \u0443\u0433\u043e\u043b \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043e ~42\u00b0, \u0447\u0442\u043e \u0441\u0432\u0438\u0434\u0435\u0442\u0435\u043b\u044c\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u043e\u0431 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u0438 \u0433\u0438\u0434\u0440\u043e\u0444\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

          \u042d\u0442\u0438 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u044b \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446, \u0442\u0430\u043a \u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439 (\u043d\u0430\u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0440, \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432 \u0432\u043e\u0441\u043a\u0430).<\/p>\n\n\n\n

          \u0423\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u043d\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u0430\u0445 <\/strong><\/h3>\n\n\n\n

          Candela-\u0438\u043d\u0441\u043f\u0435\u043a\u0446\u0438\u044f 3-\u0434\u044e\u0439\u043c\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d SiC \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u0430\u043b\u0430 \u0437\u043d\u0430\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430. \u042d\u0442\u043e \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043e\u0433\u043b\u0430\u0441\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u0440\u0435\u0437\u0443\u043b\u044c\u0442\u0430\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0410\u0421\u041c \u0438 \u043f\u043e\u0434\u0442\u0432\u0435\u0440\u0436\u0434\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0430\u0432\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 \u0432 \u043c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0435 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b.<\/p>\n\n\n\n

          \u041c\u0435\u0445\u0430\u043d\u0438\u0437\u043c \u043f\u0440\u0438\u043f\u0438\u0441\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f:<\/p>\n\n\n\n

            \n
          • \u041a\u0430\u0442\u0430\u043b\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u0432<\/li>\n\n\n\n
          • \u041a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u0430\u044f \u0433\u0435\u043d\u0435\u0440\u0430\u0446\u0438\u044f \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043a\u0430\u043b\u043e\u0432 \u043a\u0438\u0441\u043b\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0438\u0437 \u043f\u0435\u0440\u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430<\/li>\n\n\n\n
          • \u0423\u0441\u0438\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u043e\u043a\u0438\u0441\u043b\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0446\u0438\u0439<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

            \u0410\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438<\/strong><\/h3>\n\n\n\n

            \u041d\u0435\u0441\u043c\u043e\u0442\u0440\u044f \u043d\u0430 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0434\u043d\u044b\u0445 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u0432:<\/p>\n\n\n\n

              \n
            • TXRF-\u0430\u043d\u0430\u043b\u0438\u0437 \u043d\u0435 \u043e\u0431\u043d\u0430\u0440\u0443\u0436\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0434\u0438 \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/li>\n\n\n\n
            • \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u043d\u0435 \u043d\u0430\u0431\u043b\u044e\u0434\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u0440\u0443\u0433\u0438\u0445 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

              \u042d\u0442\u043e \u0433\u043e\u0432\u043e\u0440\u0438\u0442 \u043e \u0442\u043e\u043c, \u0447\u0442\u043e \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438 \u0431\u0435\u0437 \u0432\u0442\u043e\u0440\u0438\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0447\u0442\u043e \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u043e\u0439 \u043f\u0440\u0438 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0435 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

              \u041f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u0430 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438<\/strong><\/h2>\n\n\n\n
                \n
              • \u0423\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0432\u0440\u0435\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u044f SiC, \u0432\u044b\u0437\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0412\u0427-\u0438\u0437\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c<\/li>\n\n\n\n
              • \u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u043d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n\n\n\n
              • \u0423\u0434\u0430\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u0438 \u043e\u0440\u0433\u0430\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043a\u0438<\/li>\n\n\n\n
              • \u0423\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0430 (\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u044d\u0442\u0430\u043f\u043e\u0432)<\/li>\n\n\n\n
              • \u041f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0441\u0442\u0430\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430\u043c\u0438<\/li>\n\n\n\n
              • \u0421\u043e\u0432\u043c\u0435\u0441\u0442\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0441 \u043f\u0440\u043e\u043c\u044b\u0448\u043b\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n
                \"\"<\/figure>\n\n\n\n

                \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/strong><\/h2>\n\n\n\n

                \u0414\u0430\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0438\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u043f\u043e\u043a\u0430\u0437\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442, \u0447\u0442\u043e \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u0430\u044f \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430 RCA \u043d\u0435 \u043f\u043e\u043b\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f SiC-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a \u0438\u0437-\u0437\u0430 \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u044f HF \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0438 \u0435\u0433\u043e \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430.<\/p>\n\n\n\n

                \"\"<\/figure>\n\n\n\n

                \u041f\u0440\u0435\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434 \u0431\u0435\u0441\u043a\u043e\u043d\u0442\u0430\u043a\u0442\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0438, \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043d\u0430 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u043e\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434\u043d\u043e\u0433\u043e \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430 \u043f\u0435\u0440\u0435\u043a\u0438\u0441\u0438 \u0432\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u0430, \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u0430\u043b\u044c\u0442\u0435\u0440\u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043e\u0439. \u041e\u043d \u043f\u043e\u0437\u0432\u043e\u043b\u044f\u0435\u0442:<\/p>\n\n\n\n

                  \n
                • \u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0443\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439<\/li>\n\n\n\n
                • \u0421\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 SiC<\/li>\n\n\n\n
                • \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u0430\u044f \u0441\u043c\u0430\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0447\u0438\u0441\u0442\u043e\u0442\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/li>\n\n\n\n
                • \u041c\u0430\u0441\u0448\u0442\u0430\u0431\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0435 \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

                  \u042d\u0442\u043e\u0442 \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434 \u043e\u0442\u043a\u0440\u044b\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u0435\u0440\u0441\u043f\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0443\u0442\u0438 \u0434\u043b\u044f \u0443\u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u043a\u0438 SiC-\u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d, \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u044f \u0434\u0430\u043b\u044c\u043d\u0435\u0439\u0448\u0435\u043c\u0443 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044e \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0438 \u0440\u0430\u0434\u0438\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n

                  <\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

                  With the rapid development of power electronics, silicon carbide (SiC) has emerged as a promising material for next-generation devices due to its wide bandgap, high thermal conductivity, and excellent electrical performance. Compared with traditional silicon, SiC enables devices with higher voltage tolerance, lower switching losses, and better high-temperature stability. However, the surface preparation of SiC […]<\/p>\n","protected":false},"author":2,"featured_media":8765,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"_uag_custom_page_level_css":"","footnotes":""},"categories":[12,27],"tags":[2095,2090,2091,2093,2097,2092,2088,2094,2089,2096],"class_list":["post-8762","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news","category-companynews","tag-afm-wafer-analysis","tag-hf-free-cleaning","tag-rca-cleaning-sic","tag-semiconductor-wafer-cleaning","tag-sic-defect-reduction","tag-sic-surface-treatment","tag-sic-wafer-cleaning","tag-sic-wafer-process","tag-silicon-carbide-cleaning-method","tag-txrf-contamination-analysis"],"acf":[],"uagb_featured_image_src":{"full":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3.webp",1080,526,false],"thumbnail":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-150x150.webp",150,150,true],"medium":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-300x146.webp",300,146,true],"medium_large":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-768x374.webp",768,374,true],"large":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-1024x499.webp",800,390,true],"1536x1536":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3.webp",1080,526,false],"2048x2048":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3.webp",1080,526,false],"trp-custom-language-flag":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-18x9.webp",18,9,true],"woocommerce_thumbnail":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-300x300.webp",300,300,true],"woocommerce_single":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-600x292.webp",600,292,true],"woocommerce_gallery_thumbnail":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/03\/A-Novel-HF-Free-Cleaning-Method-for-Silicon-Carbide-Wafers-Mechanism-and-Performance-Evaluation3-100x100.webp",100,100,true]},"uagb_author_info":{"display_name":"lydia","author_link":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/author\/lydia\/"},"uagb_comment_info":0,"uagb_excerpt":"With the rapid development of power electronics, silicon carbide (SiC) has emerged as a promising material for next-generation devices due to its wide bandgap, high thermal conductivity, and excellent electrical performance. Compared with traditional silicon, SiC enables devices with higher voltage tolerance, lower switching losses, and better high-temperature stability. However, the surface preparation of SiC…","_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/8762","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/2"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=8762"}],"version-history":[{"count":3,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/8762\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":8769,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/8762\/revisions\/8769"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/8765"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=8762"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=8762"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=8762"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}