{"id":8802,"date":"2026-04-02T13:23:00","date_gmt":"2026-04-02T05:23:00","guid":{"rendered":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/?p=8802"},"modified":"2026-04-09T10:01:43","modified_gmt":"2026-04-09T02:01:43","slug":"detailed-overview-of-silicon-carbide-sic-power-device-fabrication","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/detailed-overview-of-silicon-carbide-sic-power-device-fabrication\/","title":{"rendered":"\u041f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u044b\u0439 \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0438\u0437 \u043a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434\u0430 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC)"},"content":{"rendered":"
<\/div>\n

\u041a\u0430\u0440\u0431\u0438\u0434 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f (SiC) \u0441\u0442\u0430\u043b \u043e\u0434\u043d\u0438\u043c \u0438\u0437 \u0432\u0430\u0436\u043d\u0435\u0439\u0448\u0438\u0445 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u043e\u0432 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0443\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0438\u0431\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0431\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u0448\u0438\u0440\u043e\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0435 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043f\u043e\u043b\u044e \u043f\u0440\u043e\u0431\u043e\u044f \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0439 \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432. \u042d\u0442\u0438 \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0434\u0435\u043b\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043d\u0430 SiC \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u043c\u0438 \u0434\u043b\u044f \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043c\u043e\u0431\u0438\u043b\u0435\u0439, \u0441\u0438\u0441\u0442\u0435\u043c \u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438 \u0438 \u0438\u043d\u0432\u0435\u0440\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0432\u043e\u0437\u043e\u0431\u043d\u043e\u0432\u043b\u044f\u0435\u043c\u044b\u0445 \u0438\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a\u043e\u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0438\u0438, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043e\u0442\u0435\u0440\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0439 \u041a\u041f\u0414 \u043f\u043e \u0441\u0440\u0430\u0432\u043d\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441 \u0442\u0440\u0430\u0434\u0438\u0446\u0438\u043e\u043d\u043d\u044b\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u0435\u0432\u044b\u043c\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c\u0438. \u0412 \u044d\u0442\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0430\u0442\u044c\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0434\u0441\u0442\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d \u043f\u043e\u0434\u0440\u043e\u0431\u043d\u044b\u0439 \u0442\u0435\u0445\u043d\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0439 \u043e\u0431\u0437\u043e\u0440 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u043d\u0430 \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u0435 SiC \u0441 \u0430\u043a\u0446\u0435\u043d\u0442\u043e\u043c \u043d\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442, \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f, \u0443\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430\u043c\u0438 \u0438 \u0441\u043e\u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0442\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

1. \u041c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b \u0441\u0435\u0440\u0434\u0435\u0447\u043d\u0438\u043a\u0430: \u041c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430 4H-SiC<\/a><\/h2>\n\n\n\n

4H-SiC - \u043d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u043c\u044b\u0439 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f \u0432 \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0411\u0443\u043a\u0432\u0430 \u201c4H\u201d \u043e\u0431\u043e\u0437\u043d\u0430\u0447\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438 \u0432\u0434\u043e\u043b\u044c \u043e\u0441\u0438 c, \u043f\u0440\u0438 \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u043e\u0439 \u0447\u0435\u0442\u044b\u0440\u0435 \u0431\u0438\u0441\u043b\u043e\u044f Si-C \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u0443\u044e\u0442 \u043e\u0434\u043d\u0443 \u0433\u0435\u043a\u0441\u0430\u0433\u043e\u043d\u0430\u043b\u044c\u043d\u0443\u044e \u044d\u043b\u0435\u043c\u0435\u043d\u0442\u0430\u0440\u043d\u0443\u044e \u044f\u0447\u0435\u0439\u043a\u0443 (\u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0430 ABCB). \u041e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043c\u0430\u0442\u0435\u0440\u0438\u0430\u043b\u0430 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0430\u044e\u0442:<\/p>\n\n\n\n

\u041d\u0435\u0434\u0432\u0438\u0436\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u044c<\/th>\u0417\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/th>\u0417\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/th><\/tr><\/thead>
\u041f\u043e\u043b\u043e\u0441\u0430 \u043f\u0440\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a\u0430\u043d\u0438\u044f<\/td>~3,3 \u044d\u0412<\/td>\u0420\u0430\u0431\u043e\u0442\u0430 \u043f\u0440\u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430\u0445<\/td><\/tr>
\u041f\u043e\u043b\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0440\u0430\u0437\u0440\u0443\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td>2-3 \u041c\u0412\/\u0441\u043c<\/td>\u0414\u043e\u043f\u0443\u0441\u043a \u043a \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043c\u0443 \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e<\/td><\/tr>
\u0422\u0435\u043f\u043b\u043e\u043f\u0440\u043e\u0432\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c<\/td>~4,9 \u0412\u0442\/\u0441\u043c-\u041a<\/td>\u042d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0435 \u0440\u0430\u0441\u0441\u0435\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043f\u043b\u0430<\/td><\/tr>
\u0421\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u0430 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u043e\u0432<\/td>~2\u00d710\u2077 \u0441\u043c\/\u0441<\/td>\u041f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0430 \u0440\u0430\u0431\u043e\u0442\u044b<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

\u0411\u043b\u0430\u0433\u043e\u0434\u0430\u0440\u044f \u044d\u0442\u0438\u043c \u0441\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u043c 4H-SiC \u0438\u0434\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u043f\u043e\u0434\u0445\u043e\u0434\u0438\u0442 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0432\u043e\u043b\u044c\u0442\u043d\u044b\u0445, \u0441\u0438\u043b\u044c\u043d\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0445, \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u0447\u0430\u0441\u0442\u043e\u0442\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432.<\/p>\n\n\n\n

2. \u041e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u044f \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u0432\u043d\u0435\u043e\u0441\u0435\u0432\u0430\u044f \u043a\u043e\u043d\u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0446\u0438\u044f<\/h2>\n\n\n\n

\u041a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0435 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 SiC {0001} \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0431\u044b\u0442\u044c \u043a\u043b\u0430\u0441\u0441\u0438\u0444\u0438\u0446\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u044b \u043a\u0430\u043a:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • Si-face (0001)<\/strong>: \u0412\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u044b \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f. \u0421\u0432\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u044e\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u043c\u0443 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u043c\u0443 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0443 \u0438 \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n\n\n\n
  • \u0421-\u043b\u0438\u0446\u043e (000-1)<\/strong>: \u0412\u0435\u0440\u0445\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u044b \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0445\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u0440\u0438\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442 \u043a \u0443\u0441\u043a\u043e\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043d\u043e \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0443\u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044f\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    \u0412 \u043a\u043e\u043c\u043c\u0435\u0440\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u0435\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u0430\u0445 \u043f\u043e\u0447\u0442\u0438 \u0438\u0441\u043a\u043b\u044e\u0447\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u044e\u0442\u0441\u044f Si-\u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0441\u043e \u0441\u043c\u0435\u0449\u0435\u043d\u043d\u043e\u0439 \u043e\u0441\u044c\u044e, \u043e\u0431\u044b\u0447\u043d\u043e \u043d\u0430\u043a\u043b\u043e\u043d\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u043d\u0430 3,5\u00b0-4\u00b0 \u0432 \u043d\u0430\u043f\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0438 . \u042d\u0442\u043e \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u0435\u0442 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u044c\u043a\u0438, \u043a\u043e\u0442\u043e\u0440\u044b\u0435 \u043f\u043e\u0434\u0434\u0435\u0440\u0436\u0438\u0432\u0430\u044e\u0442 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u043e-\u043f\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442, \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u044e\u0442 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0440\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u044e\u0442 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u0434\u0430\u044e\u0442 \u0430\u0442\u043e\u043c\u0430\u0440\u043d\u043e \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u0438\u0435 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438.<\/p>\n\n\n\n

    3. \u041f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u044b\u0440\u0430\u0449\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f SiC<\/h2>\n\n\n\n

    \u042d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 - \u044d\u0442\u043e \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0433\u043e \u0441\u043b\u043e\u044f SiC \u043d\u0430 \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0443\u044e \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0443 \u0441 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435\u043c \u0442\u043e\u0439 \u0436\u0435 \u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0439 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b. \u041e\u043d \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u0435\u0442 \u0430\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u044b\u0435 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0435 \u043a\u0430\u043a \u0434\u0440\u0435\u0439\u0444\u043e\u0432\u044b\u0435 \u0441\u043b\u043e\u0438 \u041c\u041e\u041f-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u043e\u0432 \u0438 \u0441\u043b\u043e\u0438 P+. \u0421\u0442\u0430\u043d\u0434\u0430\u0440\u0442\u043d\u044b\u043c \u043c\u0435\u0442\u043e\u0434\u043e\u043c \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u0425\u0438\u043c\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u043e\u0435 \u043e\u0441\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438\u0437 \u043f\u0430\u0440\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0444\u0430\u0437\u044b (CVD)<\/strong>.<\/p>\n\n\n\n

    3.1 \u041f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430<\/h3>\n\n\n\n
    \u0428\u0430\u0433<\/th>\u041d\u0430\u0437\u043d\u0430\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0435 \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b<\/th><\/tr><\/thead>
    \u0412\u043e\u0434\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0435 \u0442\u0440\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d, \u043d\u0430\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0433\u043e \u043e\u043a\u0441\u0438\u0434\u0430, \u0437\u0430\u0433\u0440\u044f\u0437\u043d\u0435\u043d\u0438\u0439, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0435\u0439<\/td>1500-1650\u00b0C, \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043c\u0438\u043d\u0443\u0442<\/td><\/tr>
    \u041e\u0447\u0438\u0441\u0442\u043a\u0430<\/td>\u0423\u0434\u0430\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446 \u0438 \u0438\u043e\u043d\u043e\u0432 \u043c\u0435\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432<\/td>RCA \u0447\u0438\u0441\u0442\u044b\u0439 (SC1, SC2, DHF)<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

    3.2 \u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u044b \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/h3>\n\n\n\n
    \u041f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440<\/th>\u0422\u0438\u043f\u0438\u0447\u043d\u044b\u0439 \u0434\u0438\u0430\u043f\u0430\u0437\u043e\u043d<\/th>\u041f\u0440\u0438\u043c\u0435\u0447\u0430\u043d\u0438\u044f<\/th><\/tr><\/thead>
    \u0422\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430<\/td>1500-1650\u00b0C<\/td>\u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0430\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u0430 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u0443\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0437\u043b\u043e\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0430 \u0438 \u0430\u0442\u043e\u043c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0439 \u0434\u0438\u0444\u0444\u0443\u0437\u0438\u0438<\/td><\/tr>
    \u0414\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>100-300 \u043c\u0431\u0430\u0440<\/td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0435 \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0440\u0430\u0432\u043d\u043e\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0442\u043e\u043b\u0449\u0438\u043d\u044b \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446<\/td><\/tr>
    \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u043a\u0440\u0435\u043c\u043d\u0438\u044f<\/td>SiH\u2084 \u0438\u043b\u0438 SiH\u2082Cl\u2082<\/td>SiH\u2082Cl\u2082 \u043f\u0440\u0435\u0434\u043f\u043e\u0447\u0442\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0435\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 3C-SiC<\/td><\/tr>
    \u0418\u0441\u0442\u043e\u0447\u043d\u0438\u043a \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430<\/td>C\u2083H\u2088 (\u043f\u0440\u043e\u043f\u0430\u043d) \u0438\u043b\u0438 C\u2082H\u2084 (\u044d\u0442\u0438\u043b\u0435\u043d)<\/td>\u041d\u0430\u0438\u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d \u043f\u0440\u043e\u043f\u0430\u043d; \u044d\u0442\u0438\u043b\u0435\u043d \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0434\u043b\u044f \u043d\u0438\u0437\u043a\u043e\u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0443\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/td><\/tr>
    \u0421\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u0435 Si\/C<\/td>0.7-1.0<\/td>\u0421\u043b\u0435\u0433\u043a\u0430 \u043e\u0431\u043e\u0433\u0430\u0449\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 C, \u0447\u0442\u043e\u0431\u044b \u0438\u0437\u0431\u0435\u0436\u0430\u0442\u044c \u043a\u0430\u043f\u0435\u043b\u044c Si \u0438 \u043f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043d\u044b\u0445 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0439<\/td><\/tr>
    \u041b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 (N-\u0442\u0438\u043f)<\/td>N\u2082 \u0438\u043b\u0438 NH\u2083<\/td>NH\u2083 \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u0431\u043e\u043b\u0435\u0435 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0443\u044e \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442 \u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0435 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432<\/td><\/tr>
    \u041b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 (P-\u0442\u0438\u043f)<\/td>\u0422\u041c\u0410 \u0438\u043b\u0438 \u0422\u042d\u0410<\/td>\u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c, \u0442\u0440\u0435\u0431\u0443\u0435\u0442\u0441\u044f \u0442\u043e\u0447\u043d\u044b\u0439 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043a\u043e\u043c\u043f\u043b\u0435\u043a\u0441\u0430 Al-C<\/td><\/tr>
    \u0422\u0435\u043c\u043f\u044b \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/td>5-20 \u043c\u043a\u043c\/\u0447<\/td>\u0411\u0430\u043b\u0430\u043d\u0441 \u043c\u0435\u0436\u0434\u0443 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0435\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/td><\/tr>
    \u041f\u043e\u0442\u043e\u043a\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442<\/td>\u0414\u043e\u0441\u0442\u0438\u0433\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0437\u0430 \u0441\u0447\u0435\u0442 \u0432\u043d\u0435\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0439 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u0438\u0440\u0443\u0435\u043c\u043e\u0439 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f Si\/C<\/td>\u041f\u043e\u0434\u0430\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442 \u0434\u0432\u0443\u043c\u0435\u0440\u043d\u043e\u0435 \u0437\u0430\u0440\u043e\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435, \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0430\u0435\u0442 \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043e\u0431\u0435\u0441\u043f\u0435\u0447\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0430\u0442\u043e\u043c\u043e\u0432<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

    \u0412 \u043f\u0440\u043e\u0446\u0435\u0441\u0441\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0430\u0434\u0430\u0442\u043e\u043c\u044b \u043f\u0440\u0435\u0438\u043c\u0443\u0449\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u043e \u043f\u0440\u0438\u0441\u043e\u0435\u0434\u0438\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043a \u043a\u0440\u0430\u044f\u043c \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0435\u0439, \u0430 \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0438 \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u044f\u044e\u0442\u0441\u044f \u043f\u043e \u0442\u0435\u0440\u0440\u0430\u0441\u0430\u043c, \u0444\u043e\u0440\u043c\u0438\u0440\u0443\u044f \u0433\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438\u0439 \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0441\u043b\u043e\u0439 \u0441 \u043d\u0438\u0437\u043a\u0438\u043c \u0441\u043e\u0434\u0435\u0440\u0436\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/p>\n\n\n\n

    3.3 \u041e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0438 \u0440\u0430\u0437\u0433\u0440\u0443\u0437\u043a\u0430<\/h3>\n\n\n\n

    \u041f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u043e\u0445\u043b\u0430\u0436\u0434\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0432 H\u2082 \u0438\u043b\u0438 \u0438\u043d\u0435\u0440\u0442\u043d\u043e\u043c \u0433\u0430\u0437\u0435 \u0434\u043b\u044f \u043f\u0440\u0435\u0434\u043e\u0442\u0432\u0440\u0430\u0449\u0435\u043d\u0438\u044f \u0442\u0435\u043f\u043b\u043e\u0432\u043e\u0433\u043e \u043d\u0430\u043f\u0440\u044f\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0442\u0440\u0435\u0441\u043a\u0438\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d. \u0422\u043e\u043b\u044c\u043a\u043e \u043f\u043e\u0441\u043b\u0435 \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u0431\u0435\u0437\u043e\u043f\u0430\u0441\u043d\u044b\u0445 \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440 \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d\u044b \u0438\u0437\u0432\u043b\u0435\u043a\u0430\u044e\u0442\u0441\u044f \u0438\u0437 \u0440\u0435\u0430\u043a\u0442\u043e\u0440\u0430.<\/p>\n\n\n\n

    4. \u0412\u0438\u0434\u044b \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u044b<\/h2>\n\n\n\n

    \u042d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044f SiC \u0441\u0442\u0430\u043b\u043a\u0438\u0432\u0430\u0435\u0442\u0441\u044f \u0441 \u043d\u0435\u0441\u043a\u043e\u043b\u044c\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043a\u0440\u0438\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0438\u043c\u0438 \u043f\u0440\u043e\u0431\u043b\u0435\u043c\u0430\u043c\u0438 \u0432 \u043e\u0431\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438 \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432:<\/p>\n\n\n\n

    \u0422\u0438\u043f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u0430<\/th>\u041f\u0440\u0438\u0447\u0438\u043d\u0430<\/th>\u0412\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435 \u043d\u0430 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432\u043e<\/th><\/tr><\/thead>
    \u0422\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b<\/td>\u0427\u0430\u0441\u0442\u0438\u0446\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438, \u0446\u0430\u0440\u0430\u043f\u0438\u043d\u044b, \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f 3C-SiC<\/td>\u0421\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0443\u0440\u043e\u0436\u0430\u0439\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u043d\u0430\u0434\u0435\u0436\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438<\/td><\/tr>
    \u0414\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043c\u043e\u0440\u043a\u043e\u0432\u0438<\/td>\u0412\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u0443\u0433\u043b\u0435\u0440\u043e\u0434\u0430 \u0438\u043b\u0438 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438<\/td>\u0428\u0435\u0440\u043e\u0445\u043e\u0432\u0430\u0442\u043e\u0441\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u0435\u0440\u0445\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u043b\u043e\u043a\u0430\u043b\u0438\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b<\/td><\/tr>
    \u041f\u043e\u043b\u0438\u0442\u0438\u043f\u043d\u043e\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/td>\u0417\u0435\u0440\u043d\u0430 3C-SiC<\/td>\u041d\u0430\u0440\u0443\u0448\u0430\u0435\u0442 \u0446\u0435\u043b\u043e\u0441\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u0430<\/td><\/tr>
    \u041d\u0430\u0441\u043b\u0435\u0434\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0435 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0441\u0443\u0431\u0441\u0442\u0440\u0430\u0442\u0430<\/td>\u0414\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u0432 \u0431\u0430\u0437\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0439 \u043f\u043b\u043e\u0441\u043a\u043e\u0441\u0442\u0438 (BPD), \u0434\u0438\u0441\u043b\u043e\u043a\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e \u043a\u0440\u0430\u044f\u043c \u0440\u0435\u0437\u044c\u0431\u044b (TED)<\/td>\u041f\u043e\u0434 \u0432\u043e\u0437\u0434\u0435\u0439\u0441\u0442\u0432\u0438\u0435\u043c \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0445 \u043f\u043e\u043b\u0435\u0439 BPD \u043c\u043e\u0436\u0435\u0442 \u043f\u0440\u0435\u043e\u0431\u0440\u0430\u0437\u043e\u0432\u044b\u0432\u0430\u0442\u044c\u0441\u044f \u0432 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u044b \u0443\u043a\u043b\u0430\u0434\u043a\u0438, \u0443\u0432\u0435\u043b\u0438\u0447\u0438\u0432\u0430\u044f \u0441\u043e\u043f\u0440\u043e\u0442\u0438\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u0435 \u0432\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

    \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u043d\u044b\u0439 \u043f\u043e\u0448\u0430\u0433\u043e\u0432\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 \u0438 \u0442\u0449\u0430\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u0430\u044f \u043f\u043e\u0434\u0433\u043e\u0442\u043e\u0432\u043a\u0430 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0438 \u043c\u043e\u0433\u0443\u0442 \u0447\u0430\u0441\u0442\u0438\u0447\u043d\u043e \u0431\u043b\u043e\u043a\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u0440\u0430\u0441\u043f\u0440\u043e\u0441\u0442\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0435 BPD \u0438 \u0443\u043c\u0435\u043d\u044c\u0448\u0438\u0442\u044c \u0438\u0445 \u0432\u043b\u0438\u044f\u043d\u0438\u0435.<\/p>\n\n\n\n

    5. \u0422\u0435\u043d\u0434\u0435\u043d\u0446\u0438\u0438 \u0440\u0430\u0437\u0432\u0438\u0442\u0438\u044f \u043e\u0442\u0440\u0430\u0441\u043b\u0438<\/h2>\n\n\n\n
      \n
    1. \u0411\u043e\u043b\u044c\u0448\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u044b \u043f\u043b\u0430\u0441\u0442\u0438\u043d<\/strong>: \u041f\u0435\u0440\u0435\u0445\u043e\u0434 \u043e\u0442 100-\u043c\u043c \u043a 150-\u043c\u043c \u0438 200-\u043c\u043c \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u043c \u0434\u043b\u044f \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f \u043c\u043e\u043d\u043e\u043a\u0440\u0438\u0441\u0442\u0430\u043b\u043b\u043e\u0432.<\/li>\n\n\n\n
    2. \u041d\u0438\u0437\u043a\u0430\u044f \u043f\u043b\u043e\u0442\u043d\u043e\u0441\u0442\u044c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432<\/strong>: \u041e\u043f\u0442\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u044f \u0442\u0435\u043c\u043f\u0435\u0440\u0430\u0442\u0443\u0440\u044b, \u0434\u0430\u0432\u043b\u0435\u043d\u0438\u044f, \u0441\u043e\u043e\u0442\u043d\u043e\u0448\u0435\u043d\u0438\u044f Si\/C \u0438 \u0432\u044b\u0431\u043e\u0440\u0430 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u0430 \u0434\u043b\u044f \u043c\u0438\u043d\u0438\u043c\u0438\u0437\u0430\u0446\u0438\u0438 \u041f\u041f\u0414 \u0438 \u0442\u0440\u0435\u0443\u0433\u043e\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432.<\/li>\n\n\n\n
    3. \u0423\u043b\u0443\u0447\u0448\u0435\u043d\u043d\u044b\u0439 \u0434\u043e\u043f\u0438\u043d\u0433-\u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044c<\/strong>: \u0421\u043f\u0435\u0446\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e \u0434\u043b\u044f \u043b\u0435\u0433\u0438\u0440\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u044f P-\u0442\u0438\u043f\u0430 \u0434\u043b\u044f \u0434\u043e\u0441\u0442\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044f \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438.<\/li>\n\n\n\n
    4. \u0412\u044b\u0441\u043e\u043a\u0438\u0435 \u0442\u0435\u043c\u043f\u044b \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430<\/strong>: \u0418\u0441\u0441\u043b\u0435\u0434\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 >30 \u043c\u043a\u043c\/\u0447 \u043f\u0440\u0438 \u0441\u043e\u0445\u0440\u0430\u043d\u0435\u043d\u0438\u0438 \u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0430 \u0441 \u0438\u0441\u043f\u043e\u043b\u044c\u0437\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435\u043c \u043f\u0435\u0440\u0435\u0434\u043e\u0432\u044b\u0445 \u043f\u0440\u0435\u043a\u0443\u0440\u0441\u043e\u0440\u043e\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a SiHCl\u2083 (TCS).<\/li>\n\n\n\n
    5. \u041c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433 \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435<\/strong>: \u041b\u0430\u0437\u0435\u0440\u043d\u0430\u044f \u0438\u043d\u0442\u0435\u0440\u0444\u0435\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f, \u043e\u043f\u0442\u0438\u0447\u0435\u0441\u043a\u0430\u044f \u043f\u0438\u0440\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0438 \u044d\u043b\u043b\u0438\u043f\u0441\u043e\u043c\u0435\u0442\u0440\u0438\u044f \u0434\u043b\u044f \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0432 \u0440\u0435\u0436\u0438\u043c\u0435 \u0440\u0435\u0430\u043b\u044c\u043d\u043e\u0433\u043e \u0432\u0440\u0435\u043c\u0435\u043d\u0438.<\/li>\n\n\n\n
    6. \u041c\u043d\u043e\u0433\u043e\u0441\u043b\u043e\u0439\u043d\u044b\u0435 \u0441\u0442\u0440\u0443\u043a\u0442\u0443\u0440\u044b<\/strong>: \u0422\u043e\u0447\u043d\u0430\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u044f \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 N+\/N-\/P-well\/N+ \u0434\u043b\u044f \u0441\u043b\u043e\u0436\u043d\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432, \u0442\u0430\u043a\u0438\u0445 \u043a\u0430\u043a \u041c\u041e\u041f- \u0438 IGBT-\u0442\u0440\u0430\u043d\u0437\u0438\u0441\u0442\u043e\u0440\u044b.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n

      6. \u0417\u0430\u043a\u043b\u044e\u0447\u0435\u043d\u0438\u0435<\/h2>\n\n\n\n

      \u042d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0439 \u0440\u043e\u0441\u0442 SiC \u043d\u0430 \u0432\u043d\u0435\u043e\u0441\u0435\u0432\u044b\u0445 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u043a\u0430\u0445 4H-SiC Si-face \u044f\u0432\u043b\u044f\u0435\u0442\u0441\u044f \u043e\u0441\u043d\u043e\u0432\u043e\u0439 \u0434\u043b\u044f \u0441\u043e\u0437\u0434\u0430\u043d\u0438\u044f \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u0438\u043b\u043e\u0432\u044b\u0445 \u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432. \u0414\u043b\u044f \u043f\u043e\u043b\u0443\u0447\u0435\u043d\u0438\u044f \u044d\u043f\u0438\u0442\u0430\u043a\u0441\u0438\u0430\u043b\u044c\u043d\u044b\u0445 \u0441\u043b\u043e\u0435\u0432 \u0441 \u043c\u0430\u043b\u044b\u043c \u043a\u043e\u043b\u0438\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u043e\u043c \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432, \u043e\u0434\u043d\u043e\u0440\u043e\u0434\u043d\u044b\u0445 \u0438 \u0432\u044b\u0441\u043e\u043a\u043e\u043a\u0430\u0447\u0435\u0441\u0442\u0432\u0435\u043d\u043d\u044b\u0445, \u043d\u0435\u043e\u0431\u0445\u043e\u0434\u0438\u043c\u043e \u0432\u043b\u0430\u0434\u0435\u0442\u044c \u043d\u0430\u0432\u044b\u043a\u0430\u043c\u0438 \u043e\u0440\u0438\u0435\u043d\u0442\u0430\u0446\u0438\u0438 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a, \u0432\u043d\u0435\u043e\u0441\u0435\u0432\u043e\u0433\u043e \u0434\u0438\u0437\u0430\u0439\u043d\u0430, \u0441\u0442\u0443\u043f\u0435\u043d\u0447\u0430\u0442\u043e-\u043f\u043e\u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430 \u0438 \u0442\u043e\u0447\u043d\u043e\u0433\u043e \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u043f\u0430\u0440\u0430\u043c\u0435\u0442\u0440\u043e\u0432 CVD. \u041f\u043e\u0441\u0442\u043e\u044f\u043d\u043d\u043e\u0435 \u0441\u043e\u0432\u0435\u0440\u0448\u0435\u043d\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u043d\u0438\u0435 \u0440\u0430\u0437\u043c\u0435\u0440\u043e\u0432 \u043f\u043e\u0434\u043b\u043e\u0436\u0435\u043a, \u0441\u043a\u043e\u0440\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0440\u043e\u0441\u0442\u0430, \u043a\u043e\u043d\u0442\u0440\u043e\u043b\u044f \u0434\u0435\u0444\u0435\u043a\u0442\u043e\u0432 \u0438 \u043c\u043e\u043d\u0438\u0442\u043e\u0440\u0438\u043d\u0433\u0430 \u043d\u0430 \u043c\u0435\u0441\u0442\u0435 \u0431\u0443\u0434\u0435\u0442 \u0441\u043f\u043e\u0441\u043e\u0431\u0441\u0442\u0432\u043e\u0432\u0430\u0442\u044c \u043f\u043e\u0432\u044b\u0448\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u043e\u0438\u0437\u0432\u043e\u0434\u0438\u0442\u0435\u043b\u044c\u043d\u043e\u0441\u0442\u0438, \u0441\u043d\u0438\u0436\u0435\u043d\u0438\u044e \u0441\u0442\u043e\u0438\u043c\u043e\u0441\u0442\u0438 \u0438 \u0440\u0430\u0441\u0448\u0438\u0440\u0435\u043d\u0438\u044e \u043f\u0440\u0438\u043c\u0435\u043d\u0435\u043d\u0438\u044f SiC-\u0443\u0441\u0442\u0440\u043e\u0439\u0441\u0442\u0432 \u0432 \u044d\u043d\u0435\u0440\u0433\u043e\u044d\u0444\u0444\u0435\u043a\u0442\u0438\u0432\u043d\u043e\u0439 \u044d\u043b\u0435\u043a\u0442\u0440\u043e\u043d\u0438\u043a\u0435.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

      Silicon carbide (SiC) has emerged as a critical material in high-performance power semiconductor devices due to its wide bandgap, high thermal conductivity, high breakdown field, and high electron drift velocity. These properties make SiC power devices ideal for electric vehicles, energy storage systems, and renewable energy inverters, offering lower conduction losses and higher efficiency compared […]<\/p>\n","protected":false},"author":2,"featured_media":8803,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"_uag_custom_page_level_css":"","footnotes":""},"categories":[12,27],"tags":[1166,2175,2173,2178,1305,1306,1819,1313,1240,1048,2185,2183,2184,1338,1781,2182,2181,1340,2177,1807,2176,2180,2170,2171,1056,1776,1111,2174,2172,2179],"class_list":["post-8802","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news","category-companynews","tag-4h-sic","tag-atomic-steps","tag-c-face","tag-carrot-defects","tag-chemical-vapor-deposition","tag-cvd","tag-defect-control","tag-doping-control","tag-epitaxial-growth","tag-epitaxy","tag-high-performance-semiconductor","tag-high-temperature-growth","tag-igbt","tag-jbs-diode","tag-large-diameter-wafer-2","tag-layer-uniformity","tag-low-pressure-growth","tag-mosfet","tag-n-type-doping","tag-off-axis-substrate","tag-p-type-doping","tag-polytype-inclusion","tag-power-device","tag-si-face","tag-sic","tag-sic-power-device","tag-silicon-carbide","tag-step-flow-growth","tag-substrate-preparation","tag-triangular-defects"],"acf":[],"uagb_featured_image_src":{"full":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1.webp",600,600,false],"thumbnail":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1-150x150.webp",150,150,true],"medium":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1-300x300.webp",300,300,true],"medium_large":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1.webp",600,600,false],"large":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1.webp",600,600,false],"1536x1536":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1.webp",600,600,false],"2048x2048":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1.webp",600,600,false],"trp-custom-language-flag":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1-12x12.webp",12,12,true],"woocommerce_thumbnail":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1-300x300.webp",300,300,true],"woocommerce_single":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1.webp",600,600,false],"woocommerce_gallery_thumbnail":["https:\/\/www.sic-wafers.com\/wp-content\/uploads\/2026\/04\/12inch-Sic-wafer-1-100x100.webp",100,100,true]},"uagb_author_info":{"display_name":"lydia","author_link":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/author\/lydia\/"},"uagb_comment_info":0,"uagb_excerpt":"Silicon carbide (SiC) has emerged as a critical material in high-performance power semiconductor devices due to its wide bandgap, high thermal conductivity, high breakdown field, and high electron drift velocity. These properties make SiC power devices ideal for electric vehicles, energy storage systems, and renewable energy inverters, offering lower conduction losses and higher efficiency compared…","_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/8802","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/users\/2"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=8802"}],"version-history":[{"count":1,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/8802\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":8804,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/8802\/revisions\/8804"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media\/8803"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=8802"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=8802"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/ru\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=8802"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}