ข่าว
แผ่นซิลิคอนสำหรับ MEMS: ข้อมูลวัสดุ, การผลิต, และการประยุกต์ใช้
ระบบไมโครอิเล็กทรอนิกส์-เมคคาทรอนิกส์ (MEMS) ได้ปฏิวัติเทคโนโลยีสมัยใหม่ ทำให้สามารถสร้างเซ็นเซอร์ ตัวกระตุ้น และอุปกรณ์ขนาดเล็กที่ใช้ในอุตสาหกรรมยานยนต์ การแพทย์ อิเล็กทรอนิกส์สำหรับผู้บริโภค และอวกาศได้ ที่แกนกลาง