{"id":8770,"date":"2026-03-23T11:03:12","date_gmt":"2026-03-23T03:03:12","guid":{"rendered":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/?p=8770"},"modified":"2026-03-23T11:03:21","modified_gmt":"2026-03-23T03:03:21","slug":"%e0%b9%81%e0%b8%9c%e0%b9%88%e0%b8%99%e0%b8%8b%e0%b8%b4%e0%b8%a5%e0%b8%b4%e0%b8%84%e0%b8%ad%e0%b8%99%e0%b8%aa%e0%b8%b3%e0%b8%ab%e0%b8%a3%e0%b8%b1%e0%b8%9a%e0%b8%81%e0%b8%b2%e0%b8%a3%e0%b8%9c%e0%b8%a5","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/th\/silicon-wafers-for-mems-material-fabrication-and-application-insights\/","title":{"rendered":"\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS: \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e21\u0e39\u0e25\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49"},"content":{"rendered":"<div style=\"margin-top: 0px; margin-bottom: 0px;\" 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\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e16\u0e36\u0e07 1000\u00b0C \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35:<\/strong> \u0e17\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e1b\u0e35\u0e22\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e2b\u0e49\u0e07\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15 MEMS \u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e08\u0e38\u0e25\u0e20\u0e32\u0e04\u0e44\u0e14\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32:<\/strong> \u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e40\u0e27\u0e13\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e15\u0e31\u0e27\u0e19\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e44\u0e14\u0e49 \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e2d\u0e04\u0e0a\u0e39\u0e40\u0e2d\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e44\u0e14\u0e49.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\"><strong>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS<\/strong><\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c MEMS \u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e41\u0e15\u0e01\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e01\u0e31\u0e1a <strong>\u0e40\u0e23\u0e02\u0e32\u0e04\u0e13\u0e34\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c, \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e07\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e02\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e27\u0e25\u0e1c\u0e25<\/strong>:<\/p>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27 (\u0e42\u0e21\u0e42\u0e19\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c)<\/strong>\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1e\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14.<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e21\u0e35\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e43\u0e19\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25 100, 110 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d 111 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e1e\u0e24\u0e15\u0e34\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01 (\u0e21\u0e31\u0e25\u0e15\u0e34\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25\u0e44\u0e25\u0e19\u0e4c)<\/strong>\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e23\u0e32\u0e04\u0e32\u0e16\u0e39\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 \u0e21\u0e35\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e21\u0e47\u0e14\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e17\u0e32\u0e07\u0e01\u0e25\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22.<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e01\u0e47\u0e1a\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19 MEMS \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1a\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19 (SOI)<\/strong>\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e1a\u0e19\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e0b\u0e14\u0e4c\u0e1d\u0e31\u0e07 (BOX) \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e1a\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e10\u0e32\u0e19.<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c SOI \u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 MEMS \u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e1f\u0e25\u0e39\u0e2d\u0e34\u0e14\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e40\u0e1b\u0e34\u0e14\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e25\u0e36\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e22\u0e01\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19 MEMS<\/strong><\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS \u0e21\u0e35\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19:<\/p>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e15\u0e31\u0e25<\/strong>\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 Czochralski (CZ): \u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49.<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e42\u0e0b\u0e19\u0e25\u0e2d\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27 (FZ): \u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e2a\u0e38\u0e17\u0e18\u0e34\u0e4c\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e1e\u0e34\u0e40\u0e28\u0e29\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e08\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e21\u0e32\u0e01 \u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c MEMS \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e41\u0e17\u0e48\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e16\u0e39\u0e01\u0e15\u0e31\u0e14\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e40\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e25\u0e27\u0e14 \u0e08\u0e32\u0e01\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19\u0e16\u0e39\u0e01\u0e02\u0e31\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e31\u0e14\u0e40\u0e07\u0e32\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e22\u0e32\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e33\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e44\u0e21\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e19 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e08\u0e30\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e27\u0e34\u0e18\u0e35 RCA \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e02\u0e49\u0e21\u0e07\u0e27\u0e14\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e02\u0e08\u0e31\u0e14\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e17\u0e23\u0e35\u0e22\u0e4c \u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e15\u0e48\u0e32\u0e07\u0e46 \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e31\u0e48\u0e19\u0e43\u0e08\u0e43\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e36\u0e14\u0e40\u0e01\u0e32\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e01\u0e32\u0e01\u0e42\u0e1f\u0e42\u0e15\u0e25\u0e34\u0e42\u0e18\u0e01\u0e23\u0e32\u0e1f\u0e35.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19 (\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e44\u0e14\u0e49)\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li>\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e16\u0e39\u0e01\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e42\u0e1a\u0e23\u0e2d\u0e19 \u0e1f\u0e2d\u0e2a\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e31\u0e2a \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2d\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e34\u0e04\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e35\u0e48\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23 <strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/strong>.<\/li>\n\n\n\n<li>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e40\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e19\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19 SiO\u2082 \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e09\u0e19\u0e27\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e34\u0e14\u0e1a\u0e31\u0e07 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e17\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07.<\/li>\n<\/ul>\n<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e22\u0e38\u0e01\u0e15\u0e4c\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e43\u0e19 MEMS<\/strong><\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c MEMS \u0e44\u0e14\u0e49\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e01\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17:<\/p>\n\n\n\n<ul class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c:<\/strong> \u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e48\u0e07, \u0e44\u0e08\u0e42\u0e23\u0e2a\u0e42\u0e04\u0e1b, \u0e40\u0e0b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c bioMEMS.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e41\u0e2d\u0e04\u0e0a\u0e39\u0e40\u0e2d\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c:<\/strong> \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e21\u0e34\u0e40\u0e23\u0e2d\u0e23\u0e4c, \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e1b\u0e31\u0e4a\u0e21, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e27\u0e32\u0e25\u0e4c\u0e27\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e2d\u0e2d\u0e1b\u0e15\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e25\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1f\u0e25\u0e39\u0e2d\u0e34\u0e14\u0e34\u0e01.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e1f\u0e25\u0e39\u0e2d\u0e34\u0e14\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c:<\/strong> \u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e48\u0e32\u0e07\u0e40\u0e01\u0e47\u0e1a\u0e19\u0e49\u0e33\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1a\u0e19\u0e0a\u0e34\u0e1b.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e47\u0e1a\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19<\/strong> \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e40\u0e08\u0e40\u0e19\u0e2d\u0e40\u0e23\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e1e\u0e35\u0e22\u0e42\u0e0b\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e34\u0e01\u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e16\u0e34\u0e15.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n<p>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e41\u0e25\u0e30\u0e42\u0e1b\u0e23\u0e44\u0e1f\u0e25\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19 \u0e21\u0e35\u0e1a\u0e17\u0e1a\u0e32\u0e17\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e14\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e44\u0e27 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c.<\/p>\n\n\n\n<h2 class=\"wp-block-heading\"><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS<\/strong><\/h2>\n\n\n\n<p>\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e08\u0e32\u0e23\u0e13\u0e32\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a MEMS \u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n<ol class=\"wp-block-list\">\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e07\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01:<\/strong> \u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e31\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e1e\u0e25\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e01\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1e\u0e24\u0e15\u0e34\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e01\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 MEMS.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c:<\/strong> \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e02\u0e47\u0e07\u0e41\u0e23\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e22\u0e37\u0e14\u0e2b\u0e22\u0e38\u0e48\u0e19\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e21\u0e35\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e44\u0e14\u0e49.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32<\/strong> \u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e15\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e17\u0e32\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e27\u0e07\u0e08\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e08\u0e31\u0e1a.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e1c\u0e34\u0e27:<\/strong> \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e22\u0e32\u0e1a\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1f\u0e34\u0e25\u0e4c\u0e21\u0e1a\u0e32\u0e07 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e22\u0e36\u0e14\u0e40\u0e01\u0e32\u0e30 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e17\u0e32\u0e07\u0e41\u0e2a\u0e07.<\/li>\n\n\n\n<li><strong>SOI \u0e40\u0e17\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e1a\u0e39\u0e25\u0e04\u0e4c:<\/strong> \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c SOI \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e19\u0e34\u0e22\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e25\u0e31\u0e01\u0e29\u0e13\u0e30\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e17\u0e28\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n<h2 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