{"id":8802,"date":"2026-04-02T13:23:00","date_gmt":"2026-04-02T05:23:00","guid":{"rendered":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/?p=8802"},"modified":"2026-04-09T10:01:43","modified_gmt":"2026-04-09T02:01:43","slug":"detailed-overview-of-silicon-carbide-sic-power-device-fabrication","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.sic-wafers.com\/th\/detailed-overview-of-silicon-carbide-sic-power-device-fabrication\/","title":{"rendered":"\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e23\u0e27\u0e21\u0e42\u0e14\u0e22\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC)"},"content":{"rendered":"
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\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e25\u0e32\u0e22\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e40\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e14\u0e31\u0e01\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e21\u0e35\u0e0a\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c SiC \u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e32\u0e19\u0e22\u0e19\u0e15\u0e4c\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u0e23\u0e30\u0e1a\u0e1a\u0e01\u0e31\u0e01\u0e40\u0e01\u0e47\u0e1a\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e40\u0e27\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e2b\u0e21\u0e38\u0e19\u0e40\u0e27\u0e35\u0e22\u0e19 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e2a\u0e39\u0e0d\u0e40\u0e2a\u0e35\u0e22\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e15\u0e48\u0e33\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e14\u0e31\u0e49\u0e07\u0e40\u0e14\u0e34\u0e21\u0e1a\u0e17\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e35\u0e49\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e23\u0e27\u0e21\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e17\u0e04\u0e19\u0e34\u0e04\u0e42\u0e14\u0e22\u0e25\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e14\u0e40\u0e01\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e01\u0e33\u0e25\u0e31\u0e07\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 SiC \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e19\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e2a\u0e32\u0e23 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e1b\u0e31\u0e08\u0e08\u0e38\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21.<\/p>\n\n\n\n

\"\"<\/figure>\n\n\n\n

1. \u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e41\u0e01\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01: \u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27 4H-SiC<\/a><\/h2>\n\n\n\n

4H-SiC \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e44\u0e17\u0e1b\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e01\u0e31\u0e19\u0e21\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32 \u201c4H\u201d \u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e16\u0e36\u0e07\u0e25\u0e33\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e01\u0e31\u0e19\u0e15\u0e32\u0e21\u0e41\u0e01\u0e19 c \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e04\u0e39\u0e48 Si-C \u0e2a\u0e35\u0e48\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e08\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2b\u0e19\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2b\u0e19\u0e48\u0e27\u0e22\u0e40\u0e0b\u0e25\u0e25\u0e4c\u0e2b\u0e01\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21 (\u0e01\u0e32\u0e23\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a ABCB) \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e14\u0e35\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e19\u0e35\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e01\u0e48:<\/p>\n\n\n\n

\u0e17\u0e23\u0e31\u0e1e\u0e22\u0e4c\u0e2a\u0e34\u0e19<\/th>\u0e21\u0e39\u0e25\u0e04\u0e48\u0e32<\/th>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d<\/th><\/tr><\/thead>
\u0e41\u0e1a\u0e19\u0e14\u0e4c\u0e41\u0e01\u0e1b<\/td>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 3.3 \u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e4c<\/td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><\/tr>
\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e01\u0e2b\u0e31\u0e01\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e27\u0e34\u0e1e\u0e32\u0e01\u0e29\u0e4c<\/td>2\u20133 \u0e40\u0e21\u0e01\u0e30\u0e42\u0e27\u0e25\u0e15\u0e4c\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e15\u0e34\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23<\/td>\u0e17\u0e19\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e41\u0e23\u0e07\u0e14\u0e31\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><\/tr>
\u0e01\u0e32\u0e23\u0e19\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19<\/td>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 4.9 \u0e27\u0e31\u0e15\u0e15\u0e4c\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e0b\u0e19\u0e15\u0e34\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u00b7\u0e40\u0e04\u0e25\u0e27\u0e34\u0e19<\/td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e<\/td><\/tr>
\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e15\u0e23\u0e2d\u0e19<\/td>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e21\u0e32\u0e13 2\u00d710\u2077 \u0e0b\u0e21.\/\u0e27\u0e34\u0e19\u0e32\u0e17\u0e35<\/td>\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e07\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

\u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49 4H-SiC \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e16\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07.<\/p>\n\n\n\n

2. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e08\u0e31\u0e14\u0e27\u0e32\u0e07\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e01\u0e19<\/h2>\n\n\n\n

\u0e23\u0e30\u0e19\u0e32\u0e1a\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01 SiC {0001} \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e08\u0e33\u0e41\u0e19\u0e01\u0e44\u0e14\u0e49\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19:<\/p>\n\n\n\n

    \n
  • \u0e0b\u0e35-\u0e40\u0e1f\u0e0b (0001)<\/strong>: \u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e1a\u0e19\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19 \u0e04\u0e38\u0e13\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e31\u0e15\u0e34\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e40\u0e2d\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e44\u0e14\u0e49\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e33.<\/li>\n\n\n\n
  • \u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e0b\u0e35 (000-1)<\/strong>: \u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e1a\u0e19\u0e2a\u0e38\u0e14\u0e04\u0e37\u0e2d\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19. \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e17\u0e32\u0e07\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e2a\u0e39\u0e48\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e27\u0e14\u0e40\u0e23\u0e47\u0e27\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e41\u0e15\u0e48\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e42\u0e14\u0e1b\u0e44\u0e14\u0e49\u0e22\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19.<\/li>\n<\/ul>\n\n\n\n

    \u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e34\u0e07\u0e1e\u0e32\u0e13\u0e34\u0e0a\u0e22\u0e4c\u0e40\u0e01\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e17\u0e31\u0e49\u0e07\u0e2b\u0e21\u0e14\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a Si-face \u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e07\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e41\u0e01\u0e19 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b\u0e08\u0e30\u0e40\u0e2d\u0e35\u0e22\u0e07 3.5\u00b0\u20134\u00b0 \u0e44\u0e1b\u0e43\u0e19\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e2a\u0e19\u0e31\u0e1a\u0e2a\u0e19\u0e38\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e44\u0e2b\u0e25\u0e15\u0e32\u0e21\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19 \u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e19\u0e34\u0e27\u0e40\u0e04\u0e25\u0e35\u0e22\u0e2a\u0e2a\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e34\u0e15\u0e34 \u0e25\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21.<\/p>\n\n\n\n

    3. \u0e01\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e27\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07 SiC<\/h2>\n\n\n\n

    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25 (Epitaxial growth) \u0e04\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27 \u0e42\u0e14\u0e22\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e22\u0e27\u0e01\u0e31\u0e19\u0e44\u0e27\u0e49 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e19\u0e35\u0e49\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e1a\u0e23\u0e34\u0e40\u0e27\u0e13\u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e07\u0e32\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 \u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e14\u0e23\u0e34\u0e1f\u0e17\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07 MOSFET \u0e41\u0e25\u0e30\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19 P+ \u0e27\u0e34\u0e18\u0e35\u0e01\u0e32\u0e23\u0e21\u0e32\u0e15\u0e23\u0e10\u0e32\u0e19\u0e04\u0e37\u0e2d \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e44\u0e2d\u0e40\u0e04\u0e21\u0e35 (CVD)<\/strong>.<\/p>\n\n\n\n

    3.1 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19<\/h3>\n\n\n\n
    \u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19<\/th>\u0e27\u0e31\u0e15\u0e16\u0e38\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e07\u0e04\u0e4c<\/th>\u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e31\u0e48\u0e27\u0e44\u0e1b<\/th><\/tr><\/thead>
    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e44\u0e2e\u0e42\u0e14\u0e23\u0e40\u0e08\u0e19<\/td>\u0e02\u0e08\u0e31\u0e14\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e02\u0e35\u0e14\u0e02\u0e48\u0e27\u0e19 \u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e0b\u0e34\u0e44\u0e14\u0e0b\u0e4c\u0e18\u0e23\u0e23\u0e21\u0e0a\u0e32\u0e15\u0e34 \u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e1b\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e37\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e1a\u0e31\u0e19\u0e44\u0e14\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21<\/td>1500\u20131650\u00b0C, \u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e19\u0e32\u0e17\u0e35<\/td><\/tr>
    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e17\u0e33\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14<\/td>\u0e01\u0e33\u0e08\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e41\u0e25\u0e30\u0e44\u0e2d\u0e2d\u0e2d\u0e19\u0e42\u0e25\u0e2b\u0e30<\/td>RCA \u0e2a\u0e30\u0e2d\u0e32\u0e14 (SC1, SC2, DHF)<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

    3.2 \u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25<\/h3>\n\n\n\n
    \u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c<\/th>\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e07\u0e1b\u0e01\u0e15\u0e34<\/th>\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e22\u0e40\u0e2b\u0e15\u0e38<\/th><\/tr><\/thead>
    \u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34<\/td>1500\u20131650\u00b0C<\/td>\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e48\u0e07\u0e40\u0e2a\u0e23\u0e34\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e25\u0e32\u0e22\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e1a\u0e19\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27<\/td><\/tr>
    \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e14\u0e14\u0e31\u0e19<\/td>100\u2013300 \u0e21\u0e34\u0e25\u0e25\u0e34\u0e1a\u0e32\u0e23\u0e4c<\/td>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e0a\u0e48\u0e27\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04<\/td><\/tr>
    \u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19<\/td>SiH\u2084 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d SiH\u2082Cl\u2082<\/td>SiH\u2082Cl\u2082 \u0e21\u0e35\u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e08\u0e30\u0e22\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e31\u0e49\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e1e\u0e2d\u0e25\u0e34\u0e44\u0e17\u0e1b\u0e4c 3C-SiC \u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td><\/tr>
    \u0e41\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e07\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19<\/td>C\u2083H\u2088 (\u0e42\u0e1e\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e19) \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d C\u2082H\u2084 (\u0e40\u0e2d\u0e17\u0e34\u0e25\u0e35\u0e19)<\/td>\u0e42\u0e1e\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e19\u0e1e\u0e1a\u0e21\u0e32\u0e01\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14; \u0e40\u0e2d\u0e17\u0e34\u0e25\u0e35\u0e19\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e15\u0e48\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d<\/td><\/tr>
    \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19 Si\/C<\/td>0.7\u20131.0<\/td>\u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e14\u0e21\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2b\u0e25\u0e35\u0e01\u0e40\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e07\u0e2b\u0e22\u0e14\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e01\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e15\u0e31\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e42\u0e1e\u0e25\u0e35\u0e44\u0e17\u0e1b\u0e4c<\/td><\/tr>
    \u0e42\u0e14\u0e1b\u0e1b\u0e34\u0e49\u0e07 (\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 N)<\/td>N\u2082 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d NH\u2083<\/td>NH\u2083 \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32\u0e41\u0e25\u0e30\u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e01\u0e27\u0e48\u0e32<\/td><\/tr>
    \u0e42\u0e14\u0e1b\u0e1b\u0e34\u0e49\u0e07 (\u0e0a\u0e19\u0e34\u0e14 P)<\/td>TMA \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d TEA<\/td>\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e15\u0e48\u0e33 \u0e15\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e2d\u0e1a Al-C<\/td><\/tr>
    \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15<\/td>5\u201320 \u0e44\u0e21\u0e42\u0e04\u0e23\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\/\u0e0a\u0e31\u0e48\u0e27\u0e42\u0e21\u0e07<\/td>\u0e2a\u0e21\u0e14\u0e38\u0e25\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07<\/td><\/tr>
    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e25\u0e33\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19<\/td>\u0e1a\u0e23\u0e23\u0e25\u0e38\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e41\u0e1c\u0e48\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e19\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e01\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19 Si\/C<\/td>\u0e22\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e31\u0e49\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e19\u0e34\u0e27\u0e40\u0e04\u0e25\u0e35\u0e22\u0e2a 2 \u0e21\u0e34\u0e15\u0e34 \u0e25\u0e14\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e31\u0e19\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

    \u0e43\u0e19\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e27\u0e48\u0e32\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15 \u0e2d\u0e30\u0e15\u0e2d\u0e21\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e02\u0e49\u0e32\u0e21\u0e32\u0e43\u0e2b\u0e21\u0e48\u0e08\u0e30\u0e23\u0e27\u0e21\u0e15\u0e31\u0e27\u0e01\u0e31\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e25\u0e33\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e41\u0e23\u0e01 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e48\u0e32\u0e19\u0e35\u0e49\u0e08\u0e30\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e02\u0e49\u0e32\u0e21\u0e25\u0e32\u0e19\u0e23\u0e32\u0e1a \u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e1a\u0e40\u0e19\u0e35\u0e22\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e15\u0e33\u0e2b\u0e19\u0e34\u0e15\u0e48\u0e33.<\/p>\n\n\n\n

    3.3 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e30\u0e1a\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e02\u0e19\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22<\/h3>\n\n\n\n

    \u0e2b\u0e25\u0e31\u0e07\u0e08\u0e32\u0e01\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27 \u0e40\u0e27\u0e34\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e22\u0e47\u0e19\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49 H\u2082 \u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e41\u0e01\u0e4a\u0e2a\u0e40\u0e09\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e49\u0e2d\u0e07\u0e01\u0e31\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e01\u0e34\u0e14\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e40\u0e04\u0e49\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e23\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e15\u0e01\u0e23\u0e49\u0e32\u0e27\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e34\u0e23\u0e4c\u0e01 \u0e40\u0e27\u0e34\u0e23\u0e4c\u0e01\u0e08\u0e30\u0e16\u0e39\u0e01\u0e19\u0e33\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e04\u0e23\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e1b\u0e0f\u0e34\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e44\u0e14\u0e49\u0e01\u0e47\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e21\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e16\u0e36\u0e07\u0e23\u0e30\u0e14\u0e31\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e25\u0e2d\u0e14\u0e20\u0e31\u0e22\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27\u0e40\u0e17\u0e48\u0e32\u0e19\u0e31\u0e49\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

    4. \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22<\/h2>\n\n\n\n

    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e25\u0e39\u0e01\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35\u0e1a\u0e19\u0e0b\u0e34\u0e25\u0e34\u0e04\u0e2d\u0e19\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e44\u0e1a\u0e14\u0e4c (SiC) \u0e40\u0e1c\u0e0a\u0e34\u0e0d\u0e01\u0e31\u0e1a\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e17\u0e49\u0e32\u0e17\u0e32\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e33\u0e04\u0e31\u0e0d\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e19\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07<\/p>\n\n\n\n

    \u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07<\/th>\u0e2a\u0e32\u0e40\u0e2b\u0e15\u0e38<\/th>\u0e1c\u0e25\u0e01\u0e23\u0e30\u0e17\u0e1a\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c<\/th><\/tr><\/thead>
    \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21<\/td>\u0e2d\u0e19\u0e38\u0e20\u0e32\u0e04\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e23\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e31\u0e1a \u0e23\u0e2d\u0e22\u0e02\u0e35\u0e14\u0e02\u0e48\u0e27\u0e19 \u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e1b\u0e19 3C-SiC<\/td>\u0e25\u0e14\u0e1c\u0e25\u0e1c\u0e25\u0e34\u0e15\u0e41\u0e25\u0e30\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e19\u0e48\u0e32\u0e40\u0e0a\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e16\u0e37\u0e2d<\/td><\/tr>
    \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e41\u0e04\u0e23\u0e2d\u0e17<\/td>\u0e04\u0e32\u0e23\u0e4c\u0e1a\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e17\u0e23\u0e01\u0e2b\u0e23\u0e37\u0e2d\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19<\/td>\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e02\u0e23\u0e38\u0e02\u0e23\u0e30\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1e\u0e37\u0e49\u0e19\u0e1c\u0e34\u0e27, \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48<\/td><\/tr>
    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e23\u0e27\u0e21\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17<\/td>3C-SiC \u0e40\u0e01\u0e23\u0e19<\/td>\u0e17\u0e33\u0e25\u0e32\u0e22\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e1a\u0e39\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27<\/td><\/tr>
    \u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e17\u0e35\u0e48\u0e16\u0e48\u0e32\u0e22\u0e17\u0e2d\u0e14\u0e08\u0e32\u0e01\u0e1e\u0e31\u0e19\u0e18\u0e38\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21<\/td>\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e38\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e30\u0e19\u0e32\u0e1a\u0e10\u0e32\u0e19 (BPD), \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e38\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e2a\u0e2d\u0e14 (TED)<\/td>BPD \u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e2d\u0e22\u0e40\u0e25\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19\u0e44\u0e14\u0e49\u0e20\u0e32\u0e22\u0e43\u0e15\u0e49\u0e2a\u0e19\u0e32\u0e21\u0e44\u0e1f\u0e1f\u0e49\u0e32\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e0b\u0e36\u0e48\u0e07\u0e08\u0e30\u0e17\u0e33\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e04\u0e48\u0e32\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e15\u0e49\u0e32\u0e19\u0e17\u0e32\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e19\u0e33\u0e01\u0e23\u0e30\u0e41\u0e2a\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/td><\/tr><\/tbody><\/table><\/figure>\n\n\n\n

    \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1e\u0e34\u0e48\u0e21\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e23\u0e35\u0e22\u0e21\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e23\u0e30\u0e21\u0e31\u0e14\u0e23\u0e30\u0e27\u0e31\u0e07\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e32\u0e23\u0e16\u0e22\u0e31\u0e1a\u0e22\u0e31\u0e49\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e41\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e01\u0e23\u0e30\u0e08\u0e32\u0e22\u0e02\u0e2d\u0e07 BPD \u0e44\u0e14\u0e49\u0e1a\u0e32\u0e07\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19\u0e41\u0e25\u0e30\u0e25\u0e14\u0e1c\u0e25\u0e01\u0e23\u0e30\u0e17\u0e1a\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e21\u0e31\u0e19.<\/p>\n\n\n\n

    5. \u0e41\u0e19\u0e27\u0e42\u0e19\u0e49\u0e21\u0e2d\u0e38\u0e15\u0e2a\u0e32\u0e2b\u0e01\u0e23\u0e23\u0e21<\/h2>\n\n\n\n
      \n
    1. \u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e43\u0e2b\u0e0d\u0e48\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19<\/strong>: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e1b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e19\u0e1c\u0e48\u0e32\u0e19\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 100 \u0e21\u0e21. \u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19 150 \u0e21\u0e21. \u0e41\u0e25\u0e30\u0e08\u0e32\u0e01\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14 200 \u0e21\u0e21. \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e42\u0e22\u0e0a\u0e19\u0e4c\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e36\u0e01\u0e40\u0e14\u0e35\u0e48\u0e22\u0e27.<\/li>\n\n\n\n
    2. \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2b\u0e19\u0e32\u0e41\u0e19\u0e48\u0e19\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e33<\/strong>: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34 \u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e14\u0e31\u0e19 \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e2a\u0e48\u0e27\u0e19 Si\/C \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e01\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e40\u0e2b\u0e21\u0e32\u0e30\u0e2a\u0e21\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e25\u0e14 BPDs \u0e41\u0e25\u0e30\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e23\u0e39\u0e1b\u0e2a\u0e32\u0e21\u0e40\u0e2b\u0e25\u0e35\u0e48\u0e22\u0e21\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e19\u0e49\u0e2d\u0e22\u0e17\u0e35\u0e48\u0e2a\u0e38\u0e14.<\/li>\n\n\n\n
    3. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e01\u0e23\u0e30\u0e15\u0e38\u0e49\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e1b\u0e23\u0e38\u0e07\u0e41\u0e25\u0e49\u0e27<\/strong>: \u0e42\u0e14\u0e22\u0e40\u0e09\u0e1e\u0e32\u0e30\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e22\u0e34\u0e48\u0e07\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e37\u0e2d\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e18\u0e32\u0e15\u0e38\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e40\u0e20\u0e17 P \u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d\u0e41\u0e25\u0e30\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e2a\u0e38\u0e14.<\/li>\n\n\n\n
    4. \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e2a\u0e39\u0e07<\/strong>: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2a\u0e33\u0e23\u0e27\u0e08\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15 >30 \u00b5m\/h \u0e43\u0e19\u0e02\u0e13\u0e30\u0e17\u0e35\u0e48\u0e23\u0e31\u0e01\u0e29\u0e32\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e42\u0e14\u0e22\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e2a\u0e32\u0e23\u0e15\u0e31\u0e49\u0e07\u0e15\u0e49\u0e19\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 SiHCl\u2083 (TCS).<\/li>\n\n\n\n
    5. \u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48<\/strong>: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e25\u0e40\u0e0b\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e2d\u0e34\u0e19\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e42\u0e23\u0e40\u0e21\u0e15\u0e23\u0e35, \u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e2d\u0e38\u0e13\u0e2b\u0e20\u0e39\u0e21\u0e34\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e41\u0e2a\u0e07, \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e27\u0e31\u0e14\u0e14\u0e49\u0e27\u0e22\u0e40\u0e2d\u0e25\u0e25\u0e34\u0e1b\u0e42\u0e0b\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e15\u0e34\u0e14\u0e15\u0e32\u0e21\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e08\u0e23\u0e34\u0e0d\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e23\u0e35\u0e22\u0e25\u0e44\u0e17\u0e21\u0e4c.<\/li>\n\n\n\n
    6. \u0e42\u0e04\u0e23\u0e07\u0e2a\u0e23\u0e49\u0e32\u0e07\u0e2b\u0e25\u0e32\u0e22\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19<\/strong>: \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e04\u0e25\u0e37\u0e2d\u0e1a\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e0b\u0e35\u0e17\u0e35\u0e48\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19 N+\/N-\/P-well\/N+ \u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e0b\u0e31\u0e1a\u0e0b\u0e49\u0e2d\u0e19 \u0e40\u0e0a\u0e48\u0e19 MOSFET \u0e41\u0e25\u0e30 IGBT.<\/li>\n<\/ol>\n\n\n\n

      6. \u0e2a\u0e23\u0e38\u0e1b<\/h2>\n\n\n\n

      \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e02\u0e2d\u0e07 SiC \u0e1a\u0e19\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19 4H-SiC \u0e14\u0e49\u0e32\u0e19 Si \u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e2d\u0e22\u0e39\u0e48\u0e43\u0e19\u0e41\u0e01\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e23\u0e32\u0e01\u0e10\u0e32\u0e19\u0e2a\u0e33\u0e2b\u0e23\u0e31\u0e1a\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e17\u0e34\u0e28\u0e17\u0e32\u0e07\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e27\u0e31\u0e2a\u0e14\u0e38\u0e10\u0e32\u0e19 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e2d\u0e2d\u0e01\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e17\u0e35\u0e48\u0e44\u0e21\u0e48\u0e15\u0e23\u0e07\u0e41\u0e01\u0e19\u0e2b\u0e25\u0e31\u0e01 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15\u0e41\u0e1a\u0e1a\u0e02\u0e31\u0e49\u0e19\u0e15\u0e2d\u0e19 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e1e\u0e32\u0e23\u0e32\u0e21\u0e34\u0e40\u0e15\u0e2d\u0e23\u0e4c CVD \u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e41\u0e21\u0e48\u0e19\u0e22\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e2a\u0e34\u0e48\u0e07\u0e08\u0e33\u0e40\u0e1b\u0e47\u0e19\u0e40\u0e1e\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e43\u0e2b\u0e49\u0e44\u0e14\u0e49\u0e0a\u0e31\u0e49\u0e19\u0e40\u0e2d\u0e1e\u0e34\u0e41\u0e17\u0e01\u0e40\u0e0b\u0e35\u0e22\u0e25\u0e17\u0e35\u0e48\u0e21\u0e35\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e15\u0e48\u0e33 \u0e21\u0e35\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e2a\u0e21\u0e48\u0e33\u0e40\u0e2a\u0e21\u0e2d \u0e41\u0e25\u0e30\u0e21\u0e35\u0e04\u0e38\u0e13\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e04\u0e27\u0e32\u0e21\u0e01\u0e49\u0e32\u0e27\u0e2b\u0e19\u0e49\u0e32\u0e2d\u0e22\u0e48\u0e32\u0e07\u0e15\u0e48\u0e2d\u0e40\u0e19\u0e37\u0e48\u0e2d\u0e07\u0e43\u0e19\u0e14\u0e49\u0e32\u0e19\u0e02\u0e19\u0e32\u0e14\u0e02\u0e2d\u0e07\u0e40\u0e27\u0e40\u0e1f\u0e2d\u0e23\u0e4c \u0e2d\u0e31\u0e15\u0e23\u0e32\u0e01\u0e32\u0e23\u0e40\u0e15\u0e34\u0e1a\u0e42\u0e15 \u0e01\u0e32\u0e23\u0e04\u0e27\u0e1a\u0e04\u0e38\u0e21\u0e02\u0e49\u0e2d\u0e1a\u0e01\u0e1e\u0e23\u0e48\u0e2d\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e01\u0e32\u0e23\u0e15\u0e23\u0e27\u0e08\u0e2a\u0e2d\u0e1a\u0e43\u0e19\u0e2a\u0e16\u0e32\u0e19\u0e17\u0e35\u0e48 \u0e08\u0e30\u0e22\u0e31\u0e07\u0e04\u0e07\u0e1c\u0e25\u0e31\u0e01\u0e14\u0e31\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c SiC \u0e43\u0e2b\u0e49\u0e21\u0e35\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2a\u0e34\u0e17\u0e18\u0e34\u0e20\u0e32\u0e1e\u0e2a\u0e39\u0e07\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19 \u0e15\u0e49\u0e19\u0e17\u0e38\u0e19\u0e15\u0e48\u0e33\u0e25\u0e07 \u0e41\u0e25\u0e30\u0e19\u0e33\u0e44\u0e1b\u0e43\u0e0a\u0e49\u0e43\u0e19\u0e27\u0e07\u0e01\u0e27\u0e49\u0e32\u0e07\u0e21\u0e32\u0e01\u0e02\u0e36\u0e49\u0e19\u0e43\u0e19\u0e2d\u0e38\u0e1b\u0e01\u0e23\u0e13\u0e4c\u0e2d\u0e34\u0e40\u0e25\u0e47\u0e01\u0e17\u0e23\u0e2d\u0e19\u0e34\u0e01\u0e2a\u0e4c\u0e17\u0e35\u0e48\u0e1b\u0e23\u0e30\u0e2b\u0e22\u0e31\u0e14\u0e1e\u0e25\u0e31\u0e07\u0e07\u0e32\u0e19.<\/p>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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