Tin tức
Tấm silicon cho MEMS: Những hiểu biết về vật liệu, quy trình chế tạo và ứng dụng
Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) đã tạo ra một cuộc cách mạng trong công nghệ hiện đại, mở đường cho sự ra đời của các cảm biến, bộ truyền động và thiết bị siêu nhỏ được ứng dụng trong các ngành công nghiệp ô tô, y tế, điện tử tiêu dùng và hàng không vũ trụ. Ở cốt lõi