
Những thách thức thường gặp trong quá trình phát triển lớp phủ SiC và cách khắc phục
Cacbua silic (SiC), đặc biệt là dạng đa hình 4H-SiC, đóng vai trò nền tảng trong các thiết bị bán dẫn công suất cao và tần số cao nhờ các tính chất điện, nhiệt và cơ học vượt trội





