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碳化矽 (SiC) 晶圓已成為現代電力電子、高溫裝置和寬帶隙半導體的基礎材料。儘管晶圓
藍寶石 (α-Al₂O₃) 是半導體和光電產業最廣泛使用的基板材料之一。其卓越的機械硬度、化學穩定性和寬廣的