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用於 MEMS 的矽晶圓：材料、製造與應用透視
微機電系統 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 為現代科技帶來了革命性的改變，使微型化的感測器、致動器和裝置得以應用於汽車、醫療、消費性電子產品和航太工業。核心技術
微機電系統 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 為現代科技帶來了革命性的改變，使微型化的感測器、致動器和裝置得以應用於汽車、醫療、消費性電子產品和航太工業。核心技術
1. Introduction In aerospace engineering, sensor performance is critical to navigation, environmental monitoring, and system control. Sensors deployed in aircraft, satellites, and spacecraft often operate
