Zprávy
Křemíkové desky pro MEMS: Materiál, výroba a aplikace.
Mikroelektromechanické systémy (MEMS) způsobily revoluci v moderních technologiích a umožnily výrobu miniaturních senzorů, aktuátorů a zařízení používaných v automobilovém průmyslu, zdravotnictví, spotřební elektronice a letectví. Jádro