新聞 用於 MEMS 的矽晶圓：材料、製造與應用透視 微機電系統 (Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS) 為現代科技帶來了革命性的改變，使微型化的感測器、致動器和裝置得以應用於汽車、醫療、消費性電子產品和航太工業。核心技術
