
Paksuus, doping ja viat: Piikarbidin epitaksiaprosessin kolmen keskeisen haasteen ratkaiseminen
Piikarbidi (SiC) on noussut puolijohteiden maailman supertähdeksi. Se on tunnettu poikkeuksellisesta lämmönjohtavuudestaan, korkeasta läpilyöntijännitteestään ja kemiallisesta vakaudestaan,



