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Plaques de silicium pour MEMS : Aperçu des matériaux, de la fabrication et des applications
Les systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS) ont révolutionné la technologie moderne en permettant de miniaturiser les capteurs, les actionneurs et les dispositifs utilisés dans les secteurs de l'automobile, de la médecine, de l'électronique grand public et de l'aérospatiale. Au cœur de ces systèmes