Nieuws
Siliciumschijven voor MEMS: Materiaal, fabricage en toepassingsinzichten
Micro-elektromechanische systemen (MEMS) hebben een revolutie teweeggebracht in de moderne technologie. Ze maken miniatuursensoren, actuatoren en apparaten mogelijk die worden gebruikt in de auto-industrie, de medische sector, de consumentenelektronica en de lucht- en ruimtevaart. De kern