ニュース 炭化ケイ素ウェハーの新しいHFフリー洗浄法:そのメカニズムと性能評価 パワーエレクトロニクスの急速な発展に伴い、炭化ケイ素(SiC)は、そのワイドバンドギャップ、高い熱伝導率、高い熱伝導率、高い熱伝導率から、次世代デバイスの材料として有望視されている。