Zrozumieć epitaksję węglika krzemu: Ukryta warstwa umożliwiająca tworzenie wysokowydajnych układów elektronicznych
Epitaksja węglika krzemu (SiC) jest jednym z najbardziej krytycznych procesów stojących za dzisiejszymi wysokonapięciowymi, wysokoczęstotliwościowymi i wysokowydajnymi urządzeniami półprzewodnikowymi. Chociaż ta cienka warstwa krystaliczna jest