ข้อบกพร่องที่พบบ่อยในแผ่นเวเฟอร์ SiC และวิธีการตรวจสอบ
As the demand for high-efficiency power electronics continues to grow, Silicon Carbide (SiC) wafers have become a foundational material for next-generation semiconductor devices. Compared with
As the demand for high-efficiency power electronics continues to grow, Silicon Carbide (SiC) wafers have become a foundational material for next-generation semiconductor devices. Compared with
1. บทนำ ซิลิคอนได้ครองอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มาเป็นเวลาหลายทศวรรษ เนื่องจากความอุดมสมบูรณ์ โครงสร้างผลึกที่เสถียร และคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม อย่างไรก็ตาม เมื่อการย่อขนาดของอุปกรณ์
แผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC) ได้รับความสนใจอย่างรวดเร็วในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ความถี่สูงและกำลังสูง เนื่องจากคุณสมบัติทางวัสดุที่เหนือกว่าเมื่อเทียบกับซิลิคอน (Si) แบบดั้งเดิม ด้วย
Silicon carbide, or SiC, is a wide-bandgap semiconductor material that has gained attention for its ability to operate in high-power and high-frequency applications. Compared to