ข่าว
แผ่นซิลิคอนเกรดพรีเมียมสั่งทำพิเศษ: ทำไมความหยาบของพื้นผิวจึงสำคัญสำหรับ MEMS
ในสาขาไมโครอิเล็กทรอเมคานิคอลซิสเต็มส์ (MEMS) ประสิทธิภาพของอุปกรณ์มีความไวต่อคุณภาพของวัสดุในระดับไมโครและนาโนเป็นอย่างมาก ในบรรดาพารามิเตอร์ของวัสดุรองรับทั้งหมด พื้นผิว