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Kundenspezifische Siliziumwafer der Spitzenklasse: Warum die Oberflächenrauhigkeit für MEMS wichtig ist
Im Bereich der mikroelektromechanischen Systeme (MEMS) hängt die Leistung von Bauteilen stark von der Materialqualität im Mikro- und Nanobereich ab. Unter allen Substratparametern ist die Oberfläche