Actualités
Plaquettes de silicium de première qualité sur mesure : Pourquoi la rugosité de surface est importante pour les MEMS
Dans le domaine des systèmes microélectromécaniques (MEMS), les performances des dispositifs sont très sensibles à la qualité des matériaux à l'échelle micro et nanométrique. Parmi tous les paramètres du substrat, la surface