ニュース カスタム・プライムグレードのシリコンウェーハ表面粗さがMEMSに重要な理由 微小電気機械システム（MEMS）の分野では、デバイスの性能はマイクロスケールおよびナノスケールの材料品質に非常に敏感である。あらゆる基板パラメーターの中でも、表面
