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Neue Materialien in der Halbleiterfertigung jenseits von Silizium
1. Einleitung Silizium hat die Halbleiterindustrie jahrzehntelang dominiert, da es reichlich vorhanden ist, eine stabile kristalline Struktur aufweist und hervorragende elektronische Eigenschaften besitzt. Da jedoch die Skalierung der Geräte
