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실리콘을 넘어선 반도체 제조의 새로운 재료
1. 서론 실리콘은 풍부하고 안정적인 결정 구조와 뛰어난 전자적 특성으로 인해 수십 년 동안 반도체 산업을 지배해 왔습니다. 그러나 디바이스 규모가 커짐에 따라
1. 서론 실리콘은 풍부하고 안정적인 결정 구조와 뛰어난 전자적 특성으로 인해 수십 년 동안 반도체 산업을 지배해 왔습니다. 그러나 디바이스 규모가 커짐에 따라
실리콘 카바이드(SiC), 특히 4H-SiC 폴리타입은 뛰어난 전기적, 열적, 기계적 특성으로 인해 고전력 및 고주파 반도체 소자의 기본 역할을 담당합니다.