
แผ่นซิลิคอนคาร์ไบด์ขนาด 300 มม.: วัสดุ อุปสรรคในการผลิต และเส้นทางสู่การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ช่องว่างพลังงานกว้างในระดับอุตสาหกรรม
1. บทนำ: จากเส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์สู่ขีดความสามารถในอุตสาหกรรม ในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ เส้นผ่านศูนย์กลางของเวเฟอร์ได้ทำหน้าที่เป็นตัวบ่งชี้ที่เชื่อถือได้เกี่ยวกับความก้าวหน้าในการผลิตมาโดยตลอด แต่ละขนาดหลัก



