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碳化矽(SiC)因其寬帶隙、高熱導率、高击穿場等特性,已成為高效能功率半導體元件的關鍵材料、,
碳化矽 (SiC) 已從半導體專家才知道的利基材料,迅速成為電動車、可再生能源系統的主要技術、,
碳化矽 (SiC) 磊晶是現今高壓、高頻、高效率半導體裝置背後最重要的製程之一。儘管這薄薄的結晶層