Vlastní křemíkové plátky prvotřídní kvality: Proč je drsnost povrchu pro MEMS důležitá?
V oblasti mikroelektromechanických systémů (MEMS) je výkon zařízení velmi citlivý na kvalitu materiálu v mikro- a nanorozměrech. Ze všech parametrů substrátu je povrch
