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カスタム・プライムグレードのシリコンウェーハ表面粗さがMEMSに重要な理由
微小電気機械システム（MEMS）の分野では、デバイスの性能はマイクロスケールおよびナノスケールの材料品質に非常に敏感である。あらゆる基板パラメーターの中でも、表面
微小電気機械システム（MEMS）の分野では、デバイスの性能はマイクロスケールおよびナノスケールの材料品質に非常に敏感である。あらゆる基板パラメーターの中でも、表面
シリコンは、マイクロチップから太陽電池に至るまで、あらゆるものに電力を供給する、テクノロジー分野で最も広く使われている素材のひとつである。その重要な物理的特性のひとつが
炭化ケイ素(SiC)は、現代のエレクトロニクス、パワーデバイス、先端セラミックスにおいて最も重要な材料の一つとして浮上してきた。その卓越した機械的、熱的
炭化ケイ素(SiC)は、パワーエレクトロニクスの分野を大きく変える材料として登場した。その高い耐圧、優れた熱伝導性、そして