Op het gebied van micro-elektromechanische systemen (MEMS) zijn de prestaties van apparaten zeer gevoelig voor de materiaalkwaliteit op micro- en nanoschaal. Van alle substraatparameters zijn oppervlakte
Silicium is een van de meest gebruikte materialen in de technologie en voorziet alles van energie, van microchips tot zonnecellen. Een van de belangrijkste fysische eigenschappen die
Siliciumcarbide (SiC) is uitgegroeid tot een van de belangrijkste materialen in moderne elektronica, elektrische apparaten en geavanceerde keramiek. Zijn opmerkelijke mechanische, thermische en
Siliciumcarbide (SiC) heeft zich ontpopt als een baanbrekend materiaal op het gebied van vermogenselektronica. Dankzij zijn hoge doorslagspanning, uitstekende thermische geleidbaarheid en
