Tấm silicon loại cao cấp theo yêu cầu: Tại sao độ nhám bề mặt lại quan trọng đối với MEMS
Trong lĩnh vực Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS), hiệu suất của thiết bị phụ thuộc rất lớn vào chất lượng vật liệu ở cấp độ vi và nano. Trong số tất cả các thông số của chất nền, bề mặt
