A mikroelektromechanikus rendszerek (MEMS) területén az eszközök teljesítménye rendkívül érzékeny a mikro- és nanoméretű anyagok minőségére. A szubsztrát paraméterek közül a felület
A szilícium az egyik legszélesebb körben használt anyag a technológiában, amely a mikrochipektől a napelemekig mindent ellát. A szilícium egyik legfontosabb fizikai tulajdonsága, hogy
A szilícium-karbid (SiC) a modern elektronika, az energiaellátó eszközök és a fejlett kerámia egyik legfontosabb anyagává vált. Figyelemre méltó mechanikai, termikus és
A szilícium-karbid (SiC) a teljesítményelektronika területén a játékban megváltoztató anyagként jelent meg. Magas átütési feszültségének, kiváló hővezető képességének és
