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在微機電系統 (MEMS) 領域中，裝置效能對於微米和奈米尺度的材料品質非常敏感。在所有基板參數中，表面
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碳化矽 (SiC) 已經成為改變電力電子領域遊戲規則的材料。由於具有高擊穿電壓、優異的熱導性和
