الأخبار
رقائق السيليكون المخصصة من الدرجة الأولى: لماذا تُعد خشونة السطح مهمة بالنسبة ل MEMS
في مجال الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS)، يكون أداء الجهاز حساسًا للغاية لجودة المواد على المستويين الميكروي والنانوي. ومن بين جميع معلمات الركيزة، فإن السطح

