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Dans le domaine des systèmes microélectromécaniques (MEMS), les performances des dispositifs sont très sensibles à la qualité des matériaux à l'échelle micro et nanométrique. Parmi tous les paramètres du substrat, la surface
Les substrats en carbure de silicium (SiC) sont devenus un matériau de base pour l'électronique de puissance, les dispositifs RF et les applications de semi-conducteurs à haute température. La demande de véhicules électriques à haut rendement, d'énergies renouvelables et d'énergie renouvelable est en constante évolution.
Les plaquettes de carbure de silicium (SiC) sont devenues un matériau fondamental pour l'électronique à haute puissance, à haute fréquence et à haute température, en particulier dans les véhicules électriques, les systèmes d'énergie renouvelable, les chargeurs rapides et les systèmes d'alimentation électrique.
